品牌: | SNU | 型號: | SIS 2000 | 操作方式: | 自動 |
功能: | 檢測、觀察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型號: | SIS 1200 |
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德國BMT WLIRing 干涉儀 |
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德國BMT WLIRing 干涉儀 該測量系統用于快速準確測量圓柱形工件的表面形貌,計算粗糙度參數,微型結構,及內外部表面特征。 特點 l 對內外層都可進行測量 l 光滑粗糙表面都可進行測量 l 測量結果不受工件的顏色和材料影響 l 數秒內進行快速測量 l 用于在線測量的OEM測量頭 l 光源:LED l 垂直分辨率(nm):<1 l 水平分辨率(μm):≥1 l 焦距,大約(mm):1 l 測量區域的尺寸:由物體決定 l 圖像尺寸(Pixel):1000×1000 移動平臺 l Z軸(mm):10~50 l 步進速度(μm/min):1 |
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SJ6000采用高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、 幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術,實現快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學鏡組與激光配合,得到不同的干涉信號,然后通過高精度激光 干涉信號處理系統得到干涉數據,將數據通過計算機進行顯示和動態分析。
使用時,操作者先按照設計的幾何光路安裝相配合的鏡組,幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎設計的,下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖:
邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應的平面鏡反射回來,這兩束光從而能 夠發生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調整干涉臂長度以及改變介質的折射率來實現,從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點的軌跡,因此,要 分析某種干涉產生的圖樣,必求出相干光的光程差位置分布函數。
搭建好幾何光路后,在檢定軟件上設定測量的開始、結束位置,點擊“開始”按鈕,軟件界面會實時顯示測量所得動態數據;掃描結束后,操作者可通過對測量所得 數據曲線進行分析,得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數。并根據系統內置的檢測標準對被測件的各項參數進行合格判定,檢測結束后自動生成檢定 結果。
二、特點優勢 三、技術參數1 | 線性測長距離 | 40m |
2 | 線性測長精度 | ±(0.02+0.5L)um |
3 | 激光穩頻精度 | 0.05ppm |
4 | 分辨率 | 0.001um |
5 | *大測量速度 | 4.0m/S |
6 | 動態采集頻率 | 50KHZ |
7 | 預熱時間 | 5~10分鐘 |
8 | 環境補償精度 | 空氣壓力:±1.0mBar, 空氣濕度:±6%, 材料溫度:±0.1℃ |
9 | 基本重量(含三腳架,包裝) | 15Kg |
實驗內容:
1、調整兩個反射鏡之間的相對位置,使之平行,形成F-P干涉儀。
2、觀察激光在F-P干涉儀中的多光束干涉現象,了解F-P干涉儀的工作原理和理論。
3、改變腔長,測量計算干涉儀的特征參數。用壓電陶瓷微調兩個反射鏡的間距,觀察其對透射光波長的掃描特性,了解F-P掃描干涉儀的工作原理。觀察激光器的頻率特性,測量激光器的特征參數。
光學精密機械 >> 干涉儀 >> 曲率半徑測量干涉儀︱干涉儀 | ||||||||||||||||||
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產 品 說 明 | ||||||||||||||||||
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產品 >> 光學精密機械 >> 干涉儀 | 共有 18 個產品 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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產品簡介 |
隨著精密機械零件的要求在繼續增加,Agilent 5529A動態校準系統能幫助機床用戶獲得成功。Agilent 5529A為機床制造商和用戶提供測量機床定位和精度的基本部件;用經補償的數據校準機床的定位誤差;診斷幾何形狀問題;以及符合7種國際標準的機床性能文檔。 您可用Agilent 5529A選擇全套校準部件,包括激光源、校準器和材料補償板、材料和空氣傳感器、光纖套件、電纜和附件。您也可選擇3種預配置系統(不包括光纖)。 Agilent 5529B基本系統:包括激光源、校準器和材料補償板、材料和空氣傳感器、電纜和附件。 Agilent 5529V Vectra系統:包括校準器和材料補償板、HP Vectra PC和super VGA顯示。 Agilent 5529U升級系統:包括校準器和材料補償板、適配器電纜,您能從Agilent 5528A升級到Agilent 5529A。 |
特性: |
l 專利Agilent激光管設計,性MTBF大于 50,000 小時 l 用戶友好的Windows軟件 l 文檔使用8種語言:英語、法語、德語、意大利語、日語、西班牙語,以及簡體和繁體漢語 l 符合7種國際標準: NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89 l 在線幫助 如果需要詳細的資料請發Email:xie_feng79@163.com |