電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率：2500W

控溫范圍：RT+10℃-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：±0.5℃

達(dá)到真空度：133Pa（1torr）

工作室尺寸（mm）：450*450*450（可定做）

有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。

二、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)特點(diǎn)：

1、預(yù)處理性能更好，由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進(jìn)行，晶片在容器里先經(jīng)過100℃-160℃的去水烘烤，再接著進(jìn)行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機(jī)會大大降低，所以有著更好的處理效果。

2、處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。

3、效率高,液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)4盒的晶片。

4、更加節(jié)省藥液,實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多；

5、 更加環(huán)保和安全，HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī)，所以也不會對環(huán)境造成污染。    

6、低液報警裝置，當(dāng)HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能；HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

7、有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

三、HMDS真空烘箱的原理：      

    HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

四、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：

    在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷�，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

        上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要生產(chǎn)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜發(fā)酵設(shè)備、橡塑檢測設(shè)備、電線電纜檢測設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備及實(shí)驗(yàn)室儀器的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能、航空航天等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的一致好評，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！能夠完成儀器儀表工程產(chǎn)品配套和維修服務(wù)！
       主要業(yè)務(wù)項(xiàng)目有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，無氧化烘箱，真空無氧烤箱，氮?dú)夂嫦洌瑵崈艨鞠洌瑹o氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，高精度加熱臺，精密恒溫?zé)岚澹琇ED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，半導(dǎo)體工藝設(shè)備。黑蒜加工設(shè)備，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，超低溫試驗(yàn)箱，超低溫沖擊試驗(yàn)箱，-150度高低溫試驗(yàn)箱，恒溫恒濕試驗(yàn)箱，真空烘箱，熱風(fēng)真空烤箱，環(huán)境檢測儀器，實(shí)驗(yàn)室研究儀器，橡塑檢測儀器，電纜檢測儀器設(shè)備等。