無(wú)塵烘箱，100級(jí)潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

無(wú)塵烘箱，100級(jí)潔凈烘箱特點(diǎn)：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100；

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；

4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到極高溫度控制精度。

無(wú)塵烘箱，100級(jí)潔凈烘箱技術(shù)參數(shù)：

1、主要技術(shù)指標(biāo)：

 無(wú)塵等級(jí)：Class 100;     

 溫度范圍：RT+10～200℃；

 溫度均勻度：±2℃;    

 溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）        

 溫控精度：±0.1℃;        

 工作室尺寸：W600×D600×H500（mm） 可自定內(nèi)部尺寸        

 電源：380v , 50Hz，5KW    

 網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

 潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。最小限度控制風(fēng)速距離。

M計(jì)裝可編程控制1模式20步驟，最多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。

簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器。 

2、箱體結(jié)構(gòu)：

外殼材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵

內(nèi)膽材料:優(yōu)質(zhì)潔凈T1.5mmSUS304#鏡面不銹鋼或國(guó)標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì)，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE；

活動(dòng)層板:配置2層承重型不銹鋼沖孔拖盤，可根據(jù)實(shí)際需要增加

保溫風(fēng)道：厚度100毫米硅酸鋁保溫棉或高密度耐高溫玻璃纖維，保溫隔熱性能好

3、門式結(jié)構(gòu)：

數(shù) 量：?jiǎn)伍_(kāi)門

厚 度：100毫米硅酸鋁保溫棉（高溫棉），部加強(qiáng)安裝鉸鏈和拉手

門 扣：迫緊式壓力把手，美觀，硅酸鋁纖維密封棉條，密封性好，壽命長(zhǎng)

4、循環(huán)系統(tǒng)：

循環(huán)系統(tǒng)：強(qiáng)制水平送風(fēng)循環(huán)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后熱風(fēng)吸入風(fēng)道成為源再度循環(huán)加熱，由此減小能量損耗并保證箱內(nèi)的溫度均勻性，當(dāng)門開(kāi)、關(guān)動(dòng)作 引起擾動(dòng)時(shí)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值

進(jìn)氣/排氣：

進(jìn)氣系統(tǒng)：數(shù)量1個(gè)，φ30-60mm

排氣系統(tǒng)：數(shù)量1個(gè)，φ30-60mm

5、完善的安全保護(hù)措施：
     漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器，逆向防止器、門面安全開(kāi)關(guān)。

        上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要生產(chǎn)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，潔凈烤箱，無(wú)氧烤箱，無(wú)塵無(wú)氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜發(fā)酵設(shè)備、橡塑檢測(cè)設(shè)備、電線電纜檢測(cè)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備及實(shí)驗(yàn)室儀器的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能、航空航天等行業(yè)；多年來(lái)，公司以“真摯的服務(wù)、的品質(zhì)”為宗旨，為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的一致好評(píng)，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！能夠完成儀器儀表工程產(chǎn)品配套和維修服務(wù)！
       主要業(yè)務(wù)項(xiàng)目有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，無(wú)氧化烘箱，真空無(wú)氧烤箱，氮?dú)夂嫦�，潔凈烤箱，無(wú)氧烤箱，無(wú)塵無(wú)氧固化烤箱，高精度加熱臺(tái)，精密恒溫?zé)岚澹琇ED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，半導(dǎo)體工藝設(shè)備。黑蒜加工設(shè)備，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，超低溫試驗(yàn)箱，超低溫沖擊試驗(yàn)箱，-150度高低溫試驗(yàn)箱，恒溫恒濕試驗(yàn)箱，真空烘箱，熱風(fēng)真空烤箱，環(huán)境檢測(cè)儀器，實(shí)驗(yàn)室研究儀器，橡塑檢測(cè)儀器，電纜檢測(cè)儀器設(shè)備等。