實驗室HMDS專用烘箱  小型HMDS處理烤箱的重要作用

   晶片產品的表面通常是親水的，因為從環境濕度中吸附了一層水。為了使光刻膠具有適當的附著力，需要使表面更具疏水性，以更好地與光刻膠的化學性質相匹配。

1. 解決光刻膠附著力不足問題

產品表面的自然氧化層：暴露在空氣中的硅片會形成約 1-2nm 厚的 SiO?層，其表面富含羥基（-OH），具有強親水性。而光刻膠（尤其是化學增幅型光刻膠）多為疏水性樹脂，直接旋涂時會因表面能不匹配導致 “去濕”（dewetting）現象，形成針孔或島狀缺陷。

HMDS 的改善效果：通過表面硅烷化處理，使硅片表面接觸角從～40° 提升至65°-80°（接近光刻膠的接觸角），確保光刻膠均勻鋪展并形成連續膜層。實驗表明，使用 HMDS 后，光刻膠的附著力可提高 3-5 倍，在后續顯影、刻蝕過程中不易脫落

2. 增強光刻圖形的完整性

細線條工藝中的關鍵作用：在 28nm 以下工藝節點，光刻膠線條寬度減小至亞微米級，邊緣應力集中效應加劇，若無 HMDS 處理，顯影時極易發生線條坍塌（Line Collapse）。例如，在 193nm 浸沒式光刻中，使用 HMDS 可使 50nm 線寬的抗坍塌能力提升 20%。

深孔 / 溝槽結構的填充優化：對于 3D NAND 等具有高深寬比（>20:1）結構的器件，HMDS 可降低光刻膠在孔底的接觸角，避免填充空洞（Void）形成，提高圖形轉移質量。

實驗室HMDS專用烘箱  小型HMDS處理烤箱的主要功能

HMDS 涂覆：采用蒸汽涂覆（Vapor Prime）將 HMDS 均勻覆蓋在產品表面；

烘烤固化：通常在 100-150°C 下烘烤 60-500 秒，促進化學反應完全進行。

容積:300×300×300可定制（mm）（2-12寸產品兼容）

材質：外箱采用優質不銹鋼制作，內箱采用 316L 醫用級不銹鋼

溫度范圍：RT+20-200℃

真空度：≤1torr

自動化：彩色觸摸屏人機交互，一鍵運行

HMDS控制：可控制HMDS 藥液添加量

真空泵：無油渦旋真空泵

HMDS烤箱選配功能:

HMDS藥液泄漏報警提示功能

HMDS低液位報警提示功能

工藝數據記錄功能

程序鎖定保護等功能

        上海雋思實驗儀器有限公司主要生產HMDS預處理系統，HMDS烤箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜發酵設備、橡塑檢測設備、電線電纜檢測設備、半導體設備及實驗室儀器的高新技術型企業，具有很強的自主開發、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環保、農業，建筑，節能、航空航天等行業；多年來，公司以“真摯的服務、的品質”為宗旨，為國內外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的一致好評，更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精，更完善！能夠完成儀器儀表工程產品配套和維修服務！
       主要業務項目有HMDS預處理系統，HMDS烘箱，無氧化烘箱，真空無氧烤箱，氮氣烘箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，高精度加熱臺，精密恒溫熱板，LED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，半導體工藝設備。黑蒜加工設備，黑蒜發酵設備，超低溫試驗箱，超低溫沖擊試驗箱，-150度高低溫試驗箱，恒溫恒濕試驗箱，真空烘箱，熱風真空烤箱，環境檢測儀器，實驗室研究儀器，橡塑檢測儀器，電纜檢測儀器設備等。